等离子清洗机是一种不用水的物理化学清洗设备。它的工作原理是这样的：在低真空环境下，通过电场作用让工艺气体发光放电，把气体变成带电的离子流。这些离子流会冲击工件表面，通过物理和化学反应把脏东西清理干净。

根据工作频率不同，等离子清洗机主要分三种：

1. 中频（40KHz）

2. 射频（13.56MHz）

3. 微波（2.45GHz）

频率越高，机器产生的离子数量越多，但单个离子的能量反而会降低。这个规律可以用图1-1看得清清楚楚：离子密度和电源频率成正比，离子能量和频率成反比。13.56MHz这个频率之所以成为国际标准，就是因为在这个频率下，离子能量和密度达到了最佳平衡。

三种清洗方式的性能对比如下：

中频清洗（40KHz）：

- 离子密度最低

- 主要靠物理作用清洗

- 容易损伤产品表面

- 适合清洗污染严重且不怕损伤的材料

射频清洗（13.56MHz）：

- 离子密度和能量都比较适中

- 物理和化学作用都有

- 最常用于半导体生产

- 清洗效果介于其他两种之间

微波清洗（2.45GHz）：

- 离子密度最高

- 主要靠化学反应清洗

- 不会污染产品

- 适合清洗精密元器件

简单来说：

- 要强力清洗就用中频

- 普通清洗用射频

- 精密清洗用微波

选择清洗机时，除了看频率，还要注意调整功率和气体流量这些参数。不同的材料要选不同的清洗方式，这样才能达到最好的清洗效果。