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- 04-03 2025抚州CCP容性耦合等离子体源和ICP感性耦合等离子体源-plasma射频放电等离子体一般有两种不同的激发方式,分别为电感耦合等离子体和电容耦合等离子体,其可在低气压下产生高密度的等离子体。...了解详情
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