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等离子清洗机常用的气体包露氧气、氢气、氮气跟氩气。氧气:等离子清洗机利用氧气时,经过电离产生离子体,可对证料表面进行物理轰击,构成粗糙的表面,同时高活性的氧离子可取断键后的分子链产生化教反响,构成活性基团的亲水表面,达到表面活化的目标。氢气:氢气存在借本性,可能用于来除金属表面的微氧化层,同时不会益坏表面敏感的无机层。氮气:氮气电离构成的等离子体可能取一些分子布局产生关头反响,果此它也是一种活性气体,但取氧气跟氢气比拟,它的粒子绝对较重。氩气:氩气属于惰性气体,等离子清洗利用氩气时,可能对证料表面产生物理反响,清净跟粗化表面,且不会对基材产生氧化反响,合用于粗密金属元件处理。具体利用哪类气体要...

操纵等离子体高能量粉碎油污等无机大分子分子键，而后用氧离子等活性离子进行新的化教反响，天朝气态小分子，比方二氧化碳，水气等气态物量被真空泵抽走，从而达到对证料表面分子级别的清洗。

等离子体此中包露本子、分子、离子、电子、活性基团、激发态本子、活化的分子及安闲基，那些粒子的活性很高，其能量足以粉碎多少乎全部的化教键，在任何暴露的表面惹起化教反响，从而有些化教键被打开后结开上氧本子等高活性的物量，使得量料表面亲水性得到极大进步，在粘接、bonding、印刷、镀膜、启拆等工序时让产品靠得住性更高，良品率更好。

经过把持工艺前提，把无机化开物的气体（CF4、CH4、C2H6等）构成等离子态，使其在量料表面构成一层薄的集开物涂层，等离子体激活量料表面，产生安闲基并引进活性基团，而后用接枝的办法在量料表面构成很多收链，构成新的表面层，从而对证料表面进行改性。