等离子设备用什么气体？

等离子设备分为大气低温等离子（直喷式及旋转式等离子）/真空等离子（独立

式真空等离子及在线式等离子处理系统）/宽幅等离子（宽幅等离子分为宽幅氩

气等离子及宽幅氮气等离子）。

大气低温等离子：主要气体是压缩空气，氮气。

宽幅氩气等离子：射频电源，主要气体是氩气和氧气。

宽幅氮气等离子：中频高压电源，主要气体为氮气+小量压缩空气

真空等离子：中频电源及射频电源都可以，主要是压缩空气；氮气；氩气；氧气；

氦气；四氟化碳；氢气等等（关键在于气体比例及）