【真空等离子设备】等离子体用于材料表面改性主要有以下几个方面： ①改变润湿性（又称浸润性）。 一些有机化合物表面的润湿性对颜料、墨、粘结剂等的粘结性，对于材料表面的闪络电压及表面漏泄电流等电性能，都有很大的影响。衡量润湿性的量称为接触角。 ②增强粘附性。 用等离子体活化气体处理一些聚合物及金属之后，可使材料与粘附剂的结合强度得到加强。【等离子Plasma】 原因可以是聚合物表面的交联加强了边界层的粘附力；或是等离子体处理过程中引入了偶极子而提高了聚合物表面粘附强度；也可能是等离子体处理消除了聚合物表面的污层，改善了粘附条件。 电晕处理也有同样效果。表2列出一些聚合物与金属粘附的结果，等离子体处理的效果明显。 ③强化聚合物与聚合物的粘附。 例如玻璃丝加强的环氧树脂用氦等离子体处理后，与硫化橡胶的粘附增强233％。聚酯轮胎线经过等离子体处理(如NH3)后，与橡胶的粘附强度提高8.4倍。【等离子表面刻蚀】
