等离子清洗机采用气体作为清洗介质，有效避免了液体介质可能造成的二次污染。设备外接真空泵，工作时通过等离子体轻柔冲洗物体表面，短时间内即可彻底清除有机污染物，并由真空泵抽走，清洗精度可达分子级别。

除超强清洗功能外，等离子清洗机还能在特定条件下改变材料表面性能。等离子体作用于材料表面时，会使表面分子化学键重组，形成新的表面特性。对于特殊用途材料，清洗过程中的辉光放电还能增强其粘附性、相容性和浸润性，同时具备消毒杀菌功能。该技术已广泛应用于光学、电子、材料科学、生物医学等高科技领域。

等离子清洗技术起源于20世纪初，随着高科技产业发展，现已成为多个领域的关键技术。在电子资讯产业，特别是半导体和光电领域，该技术对产业发展产生了深远影响。可以确定，没有等离子清洗技术，就不会有今天如此发达的电子、通讯产业。

该技术还应用于光学元件镀膜、模具抗磨耗层、复合材料处理、医疗器械制造等领域。作为结合等离子物理、化学和气固相反应的高科技，等离子技术需要化工、材料、电机等多学科协作，未来发展空间广阔。随着半导体和光电材料需求增长，该技术的应用前景将更加广阔。