提高清洁度：真空等离子清洗机能够彻底去除载玻片表面的油脂、尘埃、微生物及有机残留物等污染物，显著提高表面清洁度。

改善表面性质：等离子处理后的载玻片表面能增加，润湿性改善，有利于后续涂层或生物样本的附着和均匀分布。

增强附着力：通过等离子体对载玻片表面的活化处理，可以增强涂层或生物样本与载玻片之间的结合力，提高实验的可靠性和稳定性。

避免二次污染：真空等离子清洗机采用物理和化学相结合的方法进行清洗，无需使用大量化学溶剂，避免了传统清洗方法可能带来的二次污染问题。