OLED基板清洗：在OLED生产过程中，基板表面的清洁度对器件性能至关重要。真空等离子清洗机可以有效地去除基板表面的有机物、无机物以及金属颗粒等污染物，提高基板的清洁度，为后续的OLED制备工艺提供良好的基础。

OLED封装前清洗：OLED器件的封装过程中，封装材料与器件表面之间的接触质量直接影响器件的稳定性和寿命。通过真空等离子清洗机对封装前的器件进行清洗，可以确保器件表面的清洁度，提高封装质量，延长器件的使用寿命。

OLED修复清洗：在OLED生产过程中，由于各种原因可能导致器件性能不佳或损坏。此时，可以利用真空等离子清洗机对器件进行修复清洗，去除表面的污染物和杂质，恢复器件的性能。