玻璃基板:
利用全自动等离子清洗设备,对证料表面进行轰击,可无效来除表面传染物,使工件表面亲水性大大进步。清洗后的水滴夹角小于5度,为下讲工序的进行奠定杰出底子。
阳极表面改性:
用等离子表面处理器技对ITO阳极进行表面改性,可无效劣化其表面化教构成,大大低降方块电阻,从而无效进步能量转换服从,改进器件的光伏机能。
涂包庇膜前处理:
硅片表面非常光明,会反射得降大量的太阳光。果此,在其上沉积一层反射系数非常小的氮化硅包庇膜黑白常必要的。经过采取等离子设备等离子体技能,可活化硅片表面,大大进步其表面附出力。