等离子体是由正离子、电子、自由基及中性气体原子组成的发光气体团，其发光特性类似于日光灯或霓虹灯。等离子体的产生主要依靠电子撞击中性气体原子，使其解离形成等离子态。
中性气体原子核对其外围电子存在束缚能，外界电子必须获得超过该束缚能的能量才能解离原子。由于自然状态下电子能量通常不足，需要通过外加能量方式使电子获得解离能力。最简便的方法是采用平行电极板施加直流电压，电子在电场中加速积累能量，当能量达到临界值时即可解离中性原子。
产生高密度等离子体的方法多种多样，其中包括真空等离子设备和卷对卷等离子处理等技术方案。这些方法通过不同途径实现电子能量提升，从而获得满足工业应用需求的高密度等离子体。
