等离子体根据温度差异可分为高温等离子体和低温等离子体两类。在等离子体中，不同微粒的温度与其动能相关：离子温度（Ti）、电子温度（Te）和中性粒子温度（Tn）。当Te显著高于Ti和Tn时（常见于低压气体环境，气压仅几百帕斯卡），电子在电场中易被加速至高能量状态（可达数电子伏特，对应温度数万开尔文），而离子因质量较大温度仅几千开尔文。这种气体粒子温度较低的状态称为低温等离子体，实际应用中多采用此类等离子体。

　　当气体处于高压状态且吸收大量能量时，粒子碰撞频率增加，Te、Ti、Tn趋于一致，形成高温等离子体（如太阳）。因其对物体表面作用过于强烈，实际应用较少。

　　根据生成气体的化学性质，等离子体还可分为不活泼气体（如氩气、氮气、四氟化碳）和活泼气体（如氧气、氢气）等离子体。活泼气体等离子体化学反应活性更强，具体应用机理将结合实例说明。

注：本文所述“等离子体”如无特殊说明均指低温等离子体。