【等离子体】除自然存在的等离子体外,通过人工方法也可在特定条件下制备等离子体。1927年,科研人员首次在水银蒸气高压电场放电实验中观测到等离子体现象。后续研究发现,通过电弧放电、辉光放电、激光激发、火焰或冲击波等多种方式,均能使低压气体转变为等离子体状态。
【等离子喷枪】在低频电场作用下,低压状态的氧气、氮气、甲烷等气体分子经辉光放电可分解为高速运动的原子、分子及带电粒子。这些电子在电场加速中获得高能量,与周围粒子碰撞后引发级联电离,使物质进入等离子体状态。该过程通常可用特定反应式描述。
【卷对卷等离子处理设备】此类设备利用上述原理,通过精确控制放电参数实现对材料的连续表面处理,在工业生产中具有重要应用价值。