等离子清洗机的结构主要由三大核心组件构成：控制单元、真空腔体以及真空泵。以下为具体分析：

一、控制单元

当前国内外等离子清洗机的控制单元可分为四类：半自动控制、全自动控制、PC电脑控制及液晶触摸屏控制。该单元包含两大功能模块：

1）【等离子喷枪】电源部分：支持40KHz、13.56MHz（需匹配器）、2.45GHz（微波等离子）三种频率，各频率特性及功能前文已述。

2）系统控制单元：涵盖按钮控制（半自动/全自动）、电脑控制及PLC控制（液晶触摸屏）三种模式。

二、真空腔体

按材质分为两类：1）不锈钢真空腔体；2）石英腔体，适应不同工艺需求。

三、真空泵

主要类型包括：1）干泵；2）油泵，其中油泵多用于卷对卷等离子处理设备。