等离子清洗机的工作原理是通过产生等离子体，利用等离子体中的高能粒子和自由基等活性物质与样品表面发生反应，从而清除表面污垢和有机物，并在表面形成一层新的化学官能团，实现表面改性。这个过程对于大面积部件同样适用。

对于大面积部件，等离子清洗机可以确保清洗的均匀性和彻底性。通过调整等离子体的参数，如功率、频率和气体流量等，可以适应不同尺寸和形状的部件，确保整个表面都能得到有效的清洗和改性。

此外，等离子清洗机在处理大面积部件时还具有一些优势。例如，它可以在不使用化学试剂的情况下实现对部件表面的高效清洗和改性，避免了化学试剂可能带来的环境污染和安全隐患。同时，等离子清洗机还可以改善部件表面的润湿性和粘附性，为后续工艺提供更好的表面状态。

因此，等离子清洗机在处理大面积部件时是有效的，并且具有广泛的应用前景。