等离子清洗机是一种不用水的干法清洗设备，它有三个特别牛的优势：一是清洁效果特别好，二是洗得干净还不会伤东西表面，三是连复杂零件都能直接洗不用拆。这技术以后肯定越来越火。那它到底是怎么工作的呢？咱们这就来好好说道说道。

为了满足工厂生产的需求，工程师们搞出了好几种不同的等离子体发生器。主要分这么几种：靠静电加热的容性耦合等离子体（CCP）、用感应电场加热的感应耦合等离子体（ICP）、用螺旋波线圈加热的螺旋波等离子体（HWP），还有靠微波加热的ECR等离子体。根据这些不同的发生器，市面上就有了射频等离子清洗机、微波等离子清洗机这些不同种类。

虽然不同型号的机器工作原理有差别，但说白了都是靠给气体放电来产生等离子体。下面咱们重点说说最常见的真空等离子清洗机是怎么干活的。

这种机器主要用的是CCP技术，结构特别简单。它有个真空腔，里面面对面放着两个电极，就跟平行板电容器一个样。一个电极接在地上（接地极），另一个接着射频电源（电源极）。射频电源的频率一般在兆赫兹级别。实际操作时，电源和腔体之间还会加个匹配电路，既保护电源又能调节功率，就像图1.1画的那样。

真空等离子清洗机主要包含四个部分：反应腔室、控制系统、射频电源带匹配电路，还有抽真空的系统，具体结构看图1.2。

它的工作流程是这样的：先用真空泵把腔体抽到10Pa左右的真空度（相当于正常气压的万分之一），然后往里面充氩气或者氧气。等气压稳定在10-100Pa之间时，打开射频电源，调好匹配，就能看到气体发光变成等离子体了。在真空环境下，气体分子间距变大，更容易被电离。射频电源产生的高压电场把这些气体分子震碎，变成高能量的离子，这些离子会跟脏东西发生反应或者直接撞碎它们，最后变成气体被真空泵抽走，东西就洗干净了。

总结一下，CCP等离子清洗机就是靠这套物理化学反应来去污的。用这技术有三个好处：一是能让材料表面更容易粘东西（提升粘附性），二是能让液体更容易铺开（改善湿润性），最重要的是完全不用化学药剂，既省钱又环保，对操作工人也安全。