一文了解CRF-封装等离子清洗机处理可优化引线键合

最近几年半导体行业越来越火,大家可能经常听到"封装工艺"这个词。其实芯片做好之后,还得通过引线键合把芯片和外部电路连起来,这一步特别关键。但很多人不知道,引线键合之前要是没处理好芯片表面,后面可能会出各种问题。今天咱们就来聊聊CRF封装等离子清洗机是怎么帮这个忙的。


一文了解CRF-封装等离子清洗机处理可优化引线键合(图1)


先说说为什么需要清洗芯片表面。芯片从生产到封装要经过好多道工序,表面难免会沾上有机物、氧化物这些杂质。就像我们贴手机膜之前得把屏幕擦干净一样,引线键合前也得把芯片表面"擦"干净。传统方法是用化学溶剂清洗,但容易有残留,还可能损伤芯片。现在行业里越来越多用等离子清洗,特别是CRF封装等离子清洗机,效果特别好。

CRF技术到底厉害在哪呢?它用的是低温等离子体,不会像高温处理那样伤到芯片。通过射频电源产生等离子体,能把表面污染物彻底分解掉。最神奇的是,它不光能清洗,还能活化表面。简单说就是在材料表面"刻"出很多小坑,这样引线键合时金线或者铜线能更好地"抓住"芯片表面。有些厂家做过对比测试,用等离子清洗过的样品,键合强度能提高30%以上。

具体到引线键合工艺,CRF封装等离子清洗机主要解决三个问题。第一是去除表面氧化层,金属表面暴露在空气中很快就会氧化,这层氧化物会严重影响键合质量。第二是清除有机污染物,比如指纹、油脂这些,它们会让键合界面产生空隙。第三就是前面说的表面活化,增加表面能,让金属线更好地润湿铺展。像深圳诚峰智造的设备,还能根据不同材料自动调节参数,特别智能。

现在很多封装厂都在升级设备,因为随着芯片越来越小,对键合工艺的要求越来越高。5G芯片、存储芯片这些高端产品,键合线径都做到20微米以下了,对表面清洁度的要求简直是变态级别。传统清洗方法根本达不到要求,CRF等离子清洗几乎成了必选项。有数据显示,采用等离子清洗后,键合不良率能从原来的5%降到1%以下,这对量产来说太重要了。

可能有人会问,这种设备用起来麻烦吗?其实操作挺简单的,把芯片放进去,选好程序,几分钟就搞定了。关键是稳定性要好,不能这次洗得干净下次就不行。现在国内有些厂家做得不错,像诚峰智造的设备就挺受大厂欢迎,主要是参数控制得准,批次一致性很好。当然日常维护也很重要,就像家里的洗衣机要定期清理一样,等离子清洗机也要按时保养。

说到未来发展,随着chiplet技术兴起,对异质集成的要求越来越高,不同材料的键合会成为常态。这时候等离子清洗的优势就更明显了,因为它对各种材料都适用。有专家预测,未来三年等离子清洗设备在封装领域的渗透率会翻倍。不过也要注意,不是所有等离子清洗机都一样,关键要看等离子体密度、均匀性这些指标。

最后给个小建议,如果要买这类设备,最好先拿自己的产品做做测试。因为不同芯片、不同键合工艺,需要的清洗参数可能不太一样。可以先找厂家要个demo机试试效果,觉得合适再买。毕竟这设备也不便宜,得把钱花在刀刃上。

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