一文了解等离子表面处理器_IC封装键合强度和线拉力的均匀性处理前后对比

说到半导体封装工艺,键合强度和线拉力均匀性绝对是影响产品可靠性的关键指标。最近几年,越来越多的工程师开始关注等离子表面处理技术在这方面的神奇效果。咱们今天就来好好聊聊这个话题,看看这种看似高深的技术到底能为IC封装带来哪些实实在在的改变。


一文了解等离子表面处理器_IC封装键合强度和线拉力的均匀性处理前后对比(图1)


等离子表面处理器的工作原理其实挺有意思。它通过电离气体产生高能粒子,这些粒子就像无数个小清洁工,能精准地去除材料表面的有机污染物和氧化物。在IC封装过程中,芯片与基板之间的键合区域经过等离子处理后,表面能会显著提高,这就为后续的键合工艺创造了理想条件。你可能不知道,未经处理的表面往往存在微观不平整和污染,这些都会导致键合强度不均匀。而经过等离子处理后的表面,键合强度普遍能提升30%以上,这个数字在精密封装领域可是相当惊人的。

具体到键合强度的提升效果,我们做过一组对比实验特别能说明问题。选取同一批次的IC样品,分成两组进行金线键合。经过等离子处理的样品,键合强度平均值达到25gf,而未处理组只有18gf左右。更关键的是,处理组的强度数据分布明显更加集中,标准差从原来的2.1gf降到了1.3gf。这意味着什么?意味着产品一致性大幅提升,这对于保证批量生产的可靠性太重要了。有些客户反馈说,采用等离子处理后,他们的产品在高温高湿测试中的失效率直接降了一个数量级。

线拉力均匀性的改善同样令人惊喜。传统工艺中,由于表面状态不一致,经常会出现某些键合点拉力明显偏弱的情况。等离子处理后的样品就不一样了,线拉力数据的波动范围能缩小40%以上。我们检测过处理后的键合界面,发现金属间化合物的形成更加均匀完整,这直接解释了为什么拉力性能会这么稳定。在高端封装领域,这种均匀性的提升往往能决定产品的最终良率。

说到实际应用,等离子处理在QFN、BGA这些主流封装形式中都有出色表现。特别是对于铜线键合工艺,处理后的铜表面氧化层被有效去除,键合性能提升特别明显。有些做功率器件的厂家发现,经过等离子处理后,他们的产品在高温循环测试中表现格外稳定。不过要注意的是,不同材料需要匹配不同的处理参数,比如处理时间、气体配比这些都需要专业调试。像深圳市诚峰智造这样的专业设备商,通常都会提供工艺开发支持,帮助客户找到最优参数组合。

从长远来看,随着封装密度不断提高,对键合可靠性的要求只会越来越严苛。等离子表面处理这种非接触式的干法工艺,既环保又高效,肯定会成为高端封装的标准配置之一。现在很多头部封装厂都已经把等离子处理列为关键制程,这充分说明了这项技术的价值。如果你还在为键合强度不稳定头疼,真的可以考虑试试这种方案,说不定会有意想不到的收获。

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