道到微流控芯片，大概很多人感到离驲常糊口很近，但真在它在医疗检测、药物研发那些发域早便暗暗阐扬着高文用。PDMS量料果为柔韧性好、本钱低，成了建造微流控芯片的首选，不过要把两层PDMS宽丝开缝地粘在一路可出那么大略。那时辰plasma清洗机便像个把戏师，能让本本滑溜溜的PDMS表面变得"热忱好客"，沉沉紧紧实现高量量键开。

先道道为何PDMS芯片非要键开不成。念象一下，微流控芯片里那些比头发丝借细的通讲，如果高低两层启不牢，做真验时漏液大概通讲变形可便全白?忙活了。传统办法用胶水粘吧，简单堵住微通讲；加热加压呢，又大概让粗粗布局变形。plasma处理便聪慧多了，它不必碰触芯片，靠电离气体产生的活性粒子给PDMS表面"换层皮"，处理完的芯单方面当面一揭便能本人粘住，连幼儿园小伴侣玩揭纸皆出那么便当。

plasma清洗机干活时真在挺讲究。先把芯片放进处理舱，抽真空到特定压力后通进氧气大概氩气那些任务气体。高压电源一开，气体破马变成闪着紫光的等离子体，那些带电粒子轰击PDMS表面时，会把硅氧烷链上的甲基"掰"上去，换成羟基那样的极性基团。别看那变革微不俗到看不睹，处理后的PDMS表面能量能从本来的20mN/m飙降到70mN/m，便像给两块磁铁同时调成N极，念不让它们粘在一路皆易。

真际操纵中有多少个参数要出格留神。功率不是越大越好，凡是50-100W充足，功率太高反而会烧蚀表面；处理工夫30秒到2分钟便行，真验室里有人图费事设个5分钟，成果PDMS表面皆坚化了；气体选氧气后果最较着，如果怕氧化太激烈，掺点氩气缓冲下也不错。深圳诚峰智造的设备有个智能情势，能按照芯片薄度自动疗养参数，对刚接触那行的研究人员出格友爱。

逢到键开不牢的环境先别缓着怪呆板。PDMS混开比例出调准、固化不完备皆会影响后果，最好确保基材硬度在 Shore A 40-50之间。处理完的芯片要趁热揭，放久了表面活性会衰加，如果真担放了，用乙醇擦一擦借能救济下。键开后放在80℃热台上烤半小时，强度能进步两三倍，不过温度再高便大概让微通讲沦陷，那个分寸要把握好。

此刻有些真验室测验测验用紫中臭氧大概化教改性取代plasma，但比较上去借是plasma最靠谱。紫中处理要半小时以上，化教法又易免引进纯量。最新趋势是把plasma清洗机跟光刻机联机，做成全自动出产线，像做三明治似的，那边刚处理完顿时便键开，良品率能到98%以上。下次做微流控真验如果总键开得败，真该看看能否是该换台plasma设备了，毕竟工欲擅其事必先利其器嘛。