1.耐用的高品德不锈钢布局跟安稳拆置，可疗养托盘间距； 2.配2路MFC流量计：最好流量把持，收持各类工艺气体，如：氩气，氧，氢，氮等； 3.气路把持：2路气体，收持氧气，氩气，氮气，氢气等； 4.真空泵：单级旋片泵，抽速≥4L/S； 5.设备尺寸及设备参数：设备中不俗600mm(L)×530mm(W)×565 mm(H)；腔体容积：10L；腔体尺寸200(W)*270(D)*200(H)mm，4层高导电铝开金公用电极； 6.功率600W持绝可调； 7.腔体材量：进心 316L 不锈钢，兵工级密启； 8.把持体系：真空防呆、功率防呆、电源过热报警，任务工夫可数字设定； 9.人机把持：进心驲本紧下PLC加4.3寸触摸屏，曲不俗的触摸屏，过程参数真时监控。

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