1.耐用的高品质不锈钢结构和固定装置，可调节托盘间距； 2.配2路MFC流量计：最佳流量控制，支持各种工艺气体，如：氩气，氧，氢，氮等； 3.气路控制：2路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气等； 4.真空泵：双级旋片泵，抽速≥4L/S； 5.设备尺寸及设备参数：设备外观600mm(L)×530mm(W)×565 mm(H)；腔体容积：10L；腔体尺寸200(W)*270(D)*200(H)mm，4层高导电铝合金专用电极； 6.功率600W连续可调； 7.腔体材质：进口 316L 不锈钢，军工级密封； 8.控制系统：真空防呆、功率防呆、电源过热报警，工作时间可数字设定； 9.人机控制：进口日本松下PLC加4.3寸触摸屏，直观的触摸屏，过程参数实时监控。

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