经过把持工艺前提,把无机化开物的气体(CF4、CH4、C2H6等)构成等离子态,使其在量料表面构成一层薄的集开物涂层,等离子体激活量料表面,产生安闲基并引进活性基团,而后用接枝的办法在量料表面构成很多收链,构成新的表面层,从而对证料表面进行改性。