通过控制工艺条件，把有机化合物的气体（CF4、CH4、C2H6等）形成等离子态，使其在材料表面形成一层薄的聚合物涂层，等离子体激活材料表面，产生自由基并引入活性基团，然后用接枝的方法在材料表面形成许多支链，形成新的表面层，从而对材料表面进行改性。